隨著集成電路集成度的不斷提高，到1964年已研製成功了中規模集成電路；1968年又研製成功了大規模集成電路。到了1973年，大規模集成電路開始進入工業化生產階段。這時已經出現了集成幾十萬個元器件的芯片。20世紀80年代則是超大規模集成電路時代，集成度實際上已經突破了百萬大關。從80年代後期開始，集成電路技術真正實現了微型化。進入2l世紀，集成度則以每年100倍的速度增長，集成度達到幾十億。集成電路今後的發展趨勢是向大規模、超大規模集成電路發展。巒集程度越來越高，功能越來越強，應用也越來越廣。